正航仪器真空标准漏孔
标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为296±3K、入口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的干燥空气（其露点温度低于248K）的漏率。
1.常用的标准漏孔
几种常用标准漏孔的结构如图10所示。
玻璃毛细管型标准漏孔（图中a）是用局部拉细的玻璃毛细管制成的，漏率为10-8~10-7Pam3/s。
金属压扁型标准漏孔（图中b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为10-8~10-6Pam3/s。
玻璃铂丝型标准漏孔（图中c）是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。当铂丝直径为0.1~0.5mm；封接长度为5~10mm时，漏率约为10-7Pam3/s。当温度改变时，其漏率变化。若296K的漏率为qL、296，则温度T时的漏率为式（8）。式中f（T）的曲线如图11所示。
薄膜渗氦型标准漏孔（图中d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-5~10-9Pam3/s。由于温度对漏率的影响很大，使用时应当注意修正。如果温度T1时漏孔漏率为qL、T1，使用温度T2时的漏率应为式（9）。式中，E-氦在石英中的渗透激活能；R-摩尔气体常数。
2.标准漏孔的校准
标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。
（1）定容升压法
定容升压法校准系统示意图如图12所示。经预抽并烘烤容积V后，标准漏孔进气端压力p1＜1.33×103Pa，而V达到极限真空。当压力为1.01×105Pa的校准气体（例如N2气）经标准漏孔流进容积V，并在V中压力p2稳定后，关闭阀门S2记录时间和环境温度T，测出对应Δt时间的升压Δp2则标准漏孔的漏率为式（10）。
（2）氦质谱检漏仪的比较法
氦质谱检漏仪比较法校准系统如图13所示。在检漏仪工作条件不变的前提下，先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号，则待校标准漏孔的漏率为式（11）。式中，qL，01-已知标准漏孔L1的漏率；p1，p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压；I1，I2-分别为L1，L2漏孔的输出讯号；I0-检漏仪本底。
国产检漏仪器的主要参数见表12和表13。 
表12国产氦质谱检漏仪主要参数

厂家	型号	灵敏度[Pam3/s]	工作真空度[Pa]	偏转半径[mm]	偏转角	扩散泵的冷动方式	液氮耗量[L/s]	功耗[W]	重量[kg]	外形尺寸[mm×mm×mm]	备注
成都仪器厂	HZJ-1	6.7×10-10	3×10-2	40	180o	风冷	不要	1000	200	620×660×1230
	ZLS-21	10-13	1×10-3	40	90o	风冷	0.25	1500	110	938×600×650
	ZLS-22	6.7×10-13	3×10-3	40	90o	风冷	0.20		110	600×660×1230
	ZLS-23	10-13	1×10-2	12	180o	风冷	1	1000	80	950×600×570	10-11Pam3/s不用液氮
	ZLS-24	10-11,10-12	10-2	12	180o	风冷
	ZLS-24A	10-13	1×10-2	12	180o	风冷	1		120	650×600×1090	测试压力自动转换
	ZLS-24C	2×10-11,10-12						2000	150	870×725×1090	两套辅助抽气系统
	ZLS-25A	2×10-9									吸枪法仪器
	ZLS-26	2×10-12			180o	分子泵					可顺流、逆流检漏
科学院北京仪器厂	TL-1	1×10-9	3×10-2	40	180o	风冷	不要	1200	250	620×660×1229
	ZHP-4A	6.7×10-14	1×10-3	60	2×90o	水冷					扩散泵串联，差动抽气
	ZHP-10	顺流2.7×10-12 逆流10-1５	7×10-3	20	90o	风冷	0.04	1500		600×530×920	可顺流、逆流检漏
	ZHP-10B	１×10-10	7×10-2	20	90o	风冷	不要	1500		570×410×860	逆流检漏仪
	ZHP-20	3×10-12		20	90o	风冷				570×600×1030	可顺流、逆流检漏
	ZHP-30	5×10-11		20		分子泵			50	600×540×920	逆流检漏仪
	ZHP-30B	8×10-13		20		分子泵					逆流检漏仪
	ZHP-40	3×10-12		20	90o	分子泵			10	350×250×200(电控箱)	可顺流、逆流检漏
	ZHP-50	5×10-11	3×10-2						28	260×360×460(主体)	质谱管接于被检件
	ZHP-60	5×10-11				分子泵			10	350×250×200(电控箱)	便携式仪器
沈阳市真空机械三厂	ZH-1	5×10-11,5×10-12	5×10-1		180o	风冷	0.75	500	50	560×360×560	5×10-11Pam3/s不用液氮
8400厂	JLH-1	6.7×10-10	3×10-2	40	180o	风冷	不要	1000	250	620×660×1300
	JLH-2	6.7×10-11	3×10-3	40	180o	风冷		1500	250	600×780×1250
	JLH-3	6.7×10-13	1×10-3	40	180o	风冷			100
天津华北电器厂	ZHP-4	6.7×10-14	1×10-3	60	2×90o	水冷		1200	500	710×570×1300
沈阳教学仪器厂	6104	6.7×10-11	3×10-2	40	180o	水冷	不要	1200	350	650×540×1130

表13国产卤素检漏仪的主要参数

厂家	型号	灵敏度[Pam3/s]	检测范围[Pam3/s]	反应时间[s]	耗电功率[W]	重量[kg]	外形尺寸[mm×mm×mm]	备注
北京真空仪表厂	LX-2A	3.25×10-7		＜3	21	3.5	传感器260×170×50 检控箱200×150×50	F12
	LX-3	6.5×10-8	6.5×10-8~3.9×10-5	＜1	55	7	324×300×144
	LX-4	5×10-8	5×10-8~1.5×10-5
成都仪器厂	LLS-1	＜10-7	10-7~10-5	＜3		4.5	230×100×250	R12
	LFL-301		10-8~10-2*	＜1	50			SF6
上海通用机械技术研究所	LJ-D	3.2×10-9		＜3	45	4	300×260×140	F元素 台式
成都滨江仪器厂	LD-22	10-11	10-11~10-9		120	5	280×280×139	内探头